表面处理与清洗是纳米器件实现量产的保证  

作　　者：Ahmed Busnaina 

出　　处：《微纳电子技术》2009年第9期560-560,共1页Micronanoelectronic Technology

关 键 词：材料表面处理技术 清洗技术 纳米器件 IC工艺 表面预处理 CMOS 可制造性 非选择性 

分 类 号：TB302[一般工业技术—材料科学与工程] TB4