节流孔特性对抑制气浮工作台自激振动的效果研究  

The Effect of Orifice Characteristics on Reducing Self excited Vibration of Aerostatic x y Stage

作　　者：里见忠笃 章亚男[2] 

机构地区：[1]东京电机大学 [2]上海大学精密机械工程系

出　　处：《光学精密工程》1998年第5期33-38,共6页Optics and Precision Engineering

摘　　要：以前期研究工作为基础，分析了气浮式工作台由于微小自激振动的产生，而引起其定位精度劣化的内在原因。提出了通过减小节流孔孔径，改变节流孔结构形式等方法来抑制工作台自激振动的技术方案，并对其进行了理论计算和实验验证，结果表明采用这种方法可以取得良好的效果。Based on the previous work,this paper analyses the reason for small self excited vibration of the aerostatic x y stage,which reduce the positioning accuracy.The technical scheme of controlling self excited vibration of x y stage is proposed by reducing the orifice diameter and changing its structure.After theoretical calculation and experimental validation,the above method can achieve a good effect on reduction of self excited vibration.

关 键 词：气浮 导轨 自激振动 小孔节流 气腔 工作台 

分 类 号：TH703.5[机械工程—仪器科学与技术]