扩散硅压阻式传感器温度漂移性能及补偿算法研究  

作　　者：王丽[1] 彭轶[1] 赵静[1] 李开[1] 

机构地区：[1]中航工业北京长城计量测试技术研究所,北京100095

出　　处：《计测技术》2009年第B09期11-13,共3页Metrology & Measurement Technology

摘　　要：介绍了影响扩散硅压力传感器性能的主要因素——零点漂移和灵敏度漂移，详细介绍了零点漂移和灵敏度漂移的两种补偿方法，并通过试验验证了两种补偿方法。

关 键 词：扩散硅压阻式传感器 零点漂移 灵敏度漂移 试验验正 

分 类 号：TP212.102[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]