检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
作 者:邓琛[1] 徐晨[1] 徐丽华[1] 邹德恕[1] 蒋文静[1] 戴天明[1] 李晓波[1] 沈光地[1]
机构地区:[1]北京工业大学北京市光电子技术实验室,北京100124
出 处:《光电子.激光》2009年第5期580-582,共3页Journal of Optoelectronics·Laser
基 金:国家"863"计划资助项目(SQ2007AA03Z431230);北京市人才强教计划资助项目(05002015200504)
摘 要:利用高分子共混物的微相分离和自组装原理,制备出具有纳米微孔的PMMA薄膜,以此为掩膜对发光二极管(LED)表面进行湿法腐蚀,得到表面微结构,并研究了腐蚀时间对表面形貌的影响。测试结果表明,当微孔直径在500nm左右、腐蚀深度约140nm时,所得到的表面微结构能使LED在20mA的注入电流下光功率平均提高18%。Based on the micro-phase separation and sell-assembly of polymer blends, a mask, in which many nano-holes distribute regularly, is developed from PS/PMMA blend film to fabricate mierostructure on GaP surface by wet etching. By employing this method on LED surface, when the diameter of the nano-holes in mask is around 500nm and the etch depth is 140nm, the LED output power increases by 18% in average.
关 键 词:表面微结构 自组装 发光二极管(LED) 出光效率
分 类 号:TN383[电子电信—物理电子学]
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