红外椭圆偏振光谱及其应用  

Spectroscopic Infrared Ellipsometry and Its Application

作　　者：崔海宁[1] 李薇[1] 任延志[1] 汪冬梅[1] 席时权[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春应用化学研究所国家光谱电化学研究中心

出　　处：《分析测试技术与仪器》1998年第3期129-137,共9页Analysis and Testing Technology and Instruments

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：阐述了红外椭圆偏振光谱（ＳｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｉｃＩｎｆｒａｒｅｄＥｌｉｐｓｏｍｅｔｒｙ，简称ＳＩＲＥ）的原理、技术和发展。对国外ＳＩＲＥ的应用做了介绍并给出部分实例。共收集文献２９篇。The principle, technology and developement of spectroscopic infrared ellipsometry(SIRE) are introduced. Several given application examples show that such SIRE is an effective technical method in surface and thin film measurement. It covers 29 reference papers.

关 键 词：红外光谱 表面 薄膜 SIRE 椭圆偏振光谱 

分 类 号：O657.33[理学—分析化学] O484[理学—化学]