立方氮化硼薄膜的制备工艺  

Preparing Techniques of Cubic Boron Nitride Thin Film

作　　者：王钧石[1] 

机构地区：[1]西南交通大学,四川成都610031

出　　处：《材料开发与应用》2009年第5期90-93,共4页Development and Application of Materials

基　　金：西南交通大学校基金(项目编号:2004A01);中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室基金(项目编号:100027)

摘　　要：介绍了几种立方氮化硼(C-BN)薄膜的制备工艺,并对薄膜中立方氮化硼相形成的影响因素进行了讨论。The Techniqnes preparing cubic boron nitride thin film were introduced. The factors influencing the form of cubic boron nitride in the thin film was discussed.

关 键 词：立方氮化硼 工艺 影响因素 

分 类 号：TG156.8[金属学及工艺—热处理]