用电谐振法测覆膜厚度  

作　　者：高振金[1] 

机构地区：[1]东北师大物理系,长春130024

出　　处：《物理实验》1998年第5期23-24,共2页Physics Experimentation

摘　　要：介绍了用电谐振法测量覆膜厚度的测量原理及测量方法．

关 键 词：覆膜 厚度测量 电谐振法 测量原理 薄膜 

分 类 号：O484.5[理学—固体物理]