簧片式硅弹性膜应力分布的计算和加速度传感器的优化设计  

Caculation of the Stress Distribution of Reed Form Silicon Elastic Film and Optimized Design of Accelerometer

作　　者：刘理天[1] 谭智敏[1] 刘鸣[1] 温明生[2] 李英慧[2] 姚茂宏[2] 

机构地区：[1]清华大学微电子学研究所 [2]湖南吉首大学传感器研究所

出　　处：《仪表技术与传感器》1998年第8期1-4,共4页Instrument Technique and Sensor

基　　金：湖南省教委"九五"重大科研项目资助

摘　　要：为了提高我们已研制成功的新型簧片式硅加速度传感器的性能，用有限元法计算了不同形状和尺寸的质量块在４０ｇ值加速度作用下产生的应力分布，使我们优选了最佳的质量块设计方案，显著地提高了灵敏度，取得了与理论计算符合得很好的实验结果。A novel reed form silicon micro accelerometer has been designed and tested. The simulation of inertial stress in silicon films was completed by using finite element method. The optimization of inertial mass has been obtained. The sensitivity of the accelerometer was increased greatly.

关 键 词：有限元 应力分布 优化设计 加速度传感器 传感器 

分 类 号：TH824.403[机械工程—仪器科学与技术] TP212.02[机械工程—精密仪器及机械]