砷化镓集成电路中的非辅助直接剥离技术  

作　　者：施健[1] 夏世伟[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海冶金所

出　　处：《上海微电子技术和应用》1998年第3期28-29,共2页

关 键 词：砷化镓 集成电路 剥离技术 

分 类 号：TN453.05[电子电信—微电子学与固体电子学]