基于MEMS技术微型静电场传感器系统设计与研制  

作　　者：刘世国[1] 彭春荣[1] 陈贤禅[1] 夏善红[1] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北方基地,北京100190

出　　处：《仪表技术与传感器》2009年第B11期326-327,共2页Instrument Technique and Sensor

基　　金：863计划项目(2006AA04Z347)

摘　　要：针对基于MEMS技术的微型静电场传感器的输出信号微弱、信噪比低等特点,采用高精度运算放大器和直接数字合成器芯片设计出了一种基于封装小但没有浮点运算器的单片机的微型静电场传感器系统,并通过一定的算法解决了单片机运算能力弱的问题,最终整个系统的测试精度能达到5%,分辨率能达到500 V/m,检测时间小于1 s.

关 键 词：微型静电场传感器 微弱信号 相关检测 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]