TiO_2/SiO_2双层减反膜在太阳电池上的应用  

APPLIACATION OF TiO_2/SiO_2 DLAR COATING ON SOLAR CELLS

作　　者：余跃波[1] 孟凡英[1] 郭群超 江民林[1] 胡宇[1] 

机构地区：[1]上海交通大学太阳能所,上海200240 [2]上海交大泰阳绿色能源有限公司,上海200240

出　　处：《太阳能学报》2009年第11期1465-1468,共4页Acta Energiae Solaris Sinica

摘　　要：利用二氧化硅(SiO_2)对太阳电池表面的钝化作用,对传统的二氧化钛(TiO_2)单层减反膜进行了改良。基于理论模拟分析了光反射率随膜层(TiO_2/SiO_2)厚度变化规律,结合实验上SiO_2最佳厚度经验值,制备了晶体硅太阳电池(即TiO_2/SiO_2/Si),并和SiN_x/Si结构的晶体硅太阳电池相比较。分别测试了少子寿命、反射率、电性能参数等,结果表明这种改良后的TiO_2减反膜也可以取得很好的减反效果和钝化效果。镀有TiO_2/SiO_2双层膜与SiN_x减反膜绒面晶体硅片的积分反射率分别为4.9%和3.9%;使用以上两种不同减反膜制备的太阳电池的开路电压均可达到0.62V。可见这种TiO_2/SiO_2双层膜有望在将来的生产中得到具体应用。TiO2/SiO2 DLAR（ dual layer anti reflection） coating an ideal candidate of surface-passivation antireflection coating on solar cells. The results showed that this TiO2/SiO2 DLAR coating has as good passivation and anti-reflectivity effect on silicon surface as SiNx antireflection coating. Both open-circuit voltage of solar cells with different ARC are 0.62V; The reflectivity of TiO2/SiO2 DLAR coating and SiNx single coating are 4.9% and 3.6% respectively, so this DLAR coating is expected to be used widely in industry.

关 键 词：TIO2 减反膜 钝化 太阳电池 

分 类 号：TK514[动力工程及工程热物理—热能工程]