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作 者:李俊一[1] 安俊明[1] 吴远大[1] 李建光[1] 王红杰[1] 胡雄伟[1]
机构地区:[1]中国科学院半导体研究所光电研发中心,北京100083
出 处:《电子器件》2009年第6期997-999,共3页Chinese Journal of Electron Devices
基 金:国家863项目资助(2006AA03Z420;2007AA03Z420);国家自然科学基金资助项目资助(60776057;60837001;60877014)
摘 要:本文采用紫外固化胶将光纤、Silica基阵列波导光栅(AWG)、1310 nm激光器(LD)平台和1490 nm、1550 nm探测器(PD)平台混合集成为一新型单纤三向器(Triplexer)。其中,LD平台是由1310 nmLD、薄膜匹配电阻和50欧微带线(MSL)构成;PD平台是由两部分电路组成,一部分是由1490 nmPD、1.25Gb/s的跨阻放大器(TIA)和50欧MSL构成,另一部分是由1550 nmPD和50欧MSL构成。两个平台的基底都采用了镀金的硅片。小信号测试结果表明,LD在偏置电流为15 mA时的3dB带宽大约为4GHz;1490 nmPD部分接收电路3dB带宽大约为1.2GHz;1550 nmPD部分接收电路3dB带宽大约为1.9GHz。A new type of hybrid integrated triplexer combines the fiber, Silica arrayed waveguide grating (AWG) ,the 1310 nm laser diode(LD) platform, the 1490 nm and 1550 nm photodetectors(PDs) platform with the ultraviolet adhesive. The LD platform is composed of 1310 nm LD,thin film matching resistor and 50Ω microstrip line. The PD platform is consisted of two circuits. One is consisted of 1490 ran PD, 1.25Gb/s transimpedance amplifier(TIA) and 50Ω MSL and the other is consisted of 1550 nm PD and 50Ω MSL. The bases of two platforms are silicon plates coated with a thin film of Au. In the small signal measure results show that 3dB bandwidth of the LD is about 4GHz when the LD bias current is 15 mA;3dB bandwidth of the 1490 nm PD associated receiving circuit is about 1.2GHz; 3dB bandwidth of the 1550 nm PD associated receiving circuit is about 1.9GHz.
关 键 词:单纤三向器 阵列波导光栅 激光器 匹配 微带线 探测器 跨阻放大器 硅片 失量网络分析仪 小信号测试
分 类 号:TN45[电子电信—微电子学与固体电子学]
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