半导体车间设备的建模与调度逻辑分析  

The Modeling, Simulation and Logic Analysis of Cluster Tools for Semiconductor Manufacture

作　　者：刘玉[1] 吴智铭[1] 

机构地区：[1]上海交通大学自动化系CIMS实验室

出　　处：《微计算机信息》2009年第33期25-27,共3页Control & Automation

基　　金：基金申请人:吴智铭;项目名称:半导体生产线调度研究;基金颁发部门:国家自然科学基金(65074049)

摘　　要：自动组合装置(cluster tools)是半导体制造行业中的瓶颈设备。通过研究该装置以提高其生产效率也成为了半导体生产厂商所关心的问题。Petri网络能够处理并发事务,对并发系统具有强大的建模,分析,仿真,综合和控制能力,已经成功的应用于很多领域。CPN tools是一个强大的有色Petri网建模,仿真,分析的工具。本文尝试利用该工具对相对复杂的双臂自动组合装置进行有色Petri网的建模和仿真,并对该装置的实时调度逻辑进行分析。Cluster tools （CT） are the critical, and usually, the bottleneck equipment. Quantized the performance of the cluster tools is significant to the analysis of production efficiency and cost prediction. Petri nets are a promising graphical and mathematical modeling tool applicable to many systems for describing and studying information systems that are characterized as being parallel, concurrent, asynchronous, distributed, nondeterministic, and/or stochastic. In this paper, we proposed a detailed process to build a Timed Color Petri net （TCPN） model for dual-robot-arm-dual-chamber cluster tools using CPN Tools developed by University of Aarhus.

关 键 词：双臂自动组合装置 有色PETRI网 建模 仿真 

分 类 号：TP211.51[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TP391.9[自动化与计算机技术—控制科学与工程]