微电子和光电子制造中的节约型高效精密加工技术  

High-Effect and Precise Processing Technology of Economy Type in the Microelectronics and the Photoelectron Being Created

作　　者：李庆忠 康仁科[2] 郭东明[2] 

机构地区：[1]江南大学机械工程学院,江苏无锡214122 [2]大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连116024

出　　处：《江南大学学报（自然科学版）》2009年第6期746-752,共7页Joural of Jiangnan University (Natural Science Edition)　

基　　金：国家自然科学基金重大项目(50390061);江苏省自然科学基金项目(BK20080605)

摘　　要：着重介绍了高效精密加工制造技术的科学内涵、应用范围和在机械加工制造业的重要性,以及国内外研究现状与发展趋势,分析了国内在先进加工制造工艺和装备领域的基础研究中存在的主要问题和差距。Contraposing various high-effect and precision technology in processing and making, the scientific connotation, applies range, the importance in machine work manufacturing industry, research current situation and the developing trend at home and abroad have been introduced. The primal problem and gap have been analysed.

关 键 词：微电子 光电子 超精密 制造技术 

分 类 号：TG580.6[金属学及工艺—金属切削加工及机床] TN4[电子电信—微电子学与固体电子学]