多层复合薄膜中成分变化的能谱研究  

作　　者：闫允杰[1] 唐国翌[1] 郑自攀[2] 

机构地区：[1]清华大学国家教委先进材料开放实验室 [2]中国科学院电子研究所

出　　处：《电子显微学报》1998年第5期570-574,共5页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：某种新型传感器材料采用在Ｓｉ单晶基体上制备多层膜结构，这些膜的成分特性将对传感器的功能有重要影响。为配合新型传感器的开发，我们利用ＪＥＭ－６３０１Ｆ场发射扫描电镜及ＥＤＳ附件研究多层膜的成分变化特性，目的是为材料设计和工艺优化提供依据。实验过程及结果...

关 键 词：多层膜 复合薄膜 成分变化 能谱 

分 类 号：O484.8[理学—固体物理]