JSM-35C扫描电镜检修实例  

作　　者：阮世池[1] 

机构地区：[1]电子科技大学材料分析中心

出　　处：《电子显微学报》1998年第5期670-671,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：真空系统单元故障１．循环水系统失灵引起自动关机。［现象］开机后约１０多分种，自动关机。［检修］开机后短时间自动关机，一般是空压机或供水系统有故障。经检查，是循环冷却水系统坏了，不降温。这是因为开机后，扩散泵加热，当油温超过６０℃时，温度继电器ＴＨ－１...

关 键 词：扫描式 电子显微镜 检修 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]