有机EL用平滑ITO膜  

作　　者：王明英 

机构地区：[1]CRT研发中心

出　　处：《显示器件技术》2009年第3期38-40,共3页

摘　　要：1、前言 本公司根据液晶屏的彩色化·宽屏化·高画质化等的发展，已确立消除滤色板（CF）基板上的异物等表面特殊处理的加工技术、量产加工液晶玻璃基板。另外，在成膜加工方面进行了底涂层膜（SiO2等真空膜）和透明导电膜（ITO膜）、CF黑底用低反射Cr膜和考虑到环境的新金属膜、尤其是CF上ITO膜等的成膜加工，根据成膜加工情况再提供给发展中的FPD产业。

关 键 词：ITO膜 有机EL 加工技术 平滑 玻璃基板 透明导电膜 液晶屏 高画质 

分 类 号：TN304.055[电子电信—物理电子学] TN383.1