前栅极碳纳米管场发射显示板关键结构参数的研究  

Structural Study of Carbon Nanotube Field Emission Display Panel

作　　者：仲雪飞[1] 张雄[1] 尹涵春[1] 王保平[1] 

机构地区：[1]江苏省信息显示工程技术研究中心,东南大学电子科学与工程学院,南京210096

出　　处：《真空科学与技术学报》2010年第1期33-37,共5页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

基　　金：国家自然科学基金(No.60801002);高等学校学科创新引智计划(111计划)资助项目

摘　　要：前栅极碳纳米管场发射显示板是一种常用的场致发射器件。该器件通过栅极与阴极之间形成的电场产生场致发射电子,在阳极高压的作用下,电子从电场中获得能量,轰击荧光粉产生可见光。本文采用模拟计算的方法研究了标准结构场发射区域内的电场分布、阴极表面的发射情况、电子轨迹和着屏束斑。并研究了关键结构参数在公差范围内变化对阴极发射特性和阳极着屏束斑的影响。计算结果显示,阴极发射状况和阳极束斑对结构参数的变化非常敏感,也证明了前栅极结构对工艺要求十分严格。The major variables, including the field distributions, field emission of the cathodes, electron trajectories and spots on the anode in the typical structure of the normal-gate carbon nanotube field emission display panel （CNT FED） ,were simulated. The impacts of the key factors, including the gate voltage, dielectric layer thickness, and structural variations within the tolerance, on the field emission characteristics and on the anode spot geometry were studied. The simulated results show that the structural configurations, such as the dielectric layer thickness, the gate opening and gatealignment errors, strongly affect the field emission characteristics and the spot geometry on the anode.

关 键 词：电子技术 场发射显示 模拟计算 结构参数 

分 类 号：O462.4[理学—电子物理学]