动态反应池电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级盐酸中杂质  

Determination of Impurities in Semiconductor Grade Hydrochloric Acid by Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry with Dynamic Reaction Cell

作　　者：陈建敏[1] 游维松 

机构地区：[1]珀金埃尔默仪器(上海)有限公司北京办事处,北京100022

出　　处：《岩矿测试》2010年第1期I0001-I0002,共2页Rock and Mineral Analysis

关 键 词：电感耦合等离子体质谱仪 半导体工业 杂质 盐酸 反应池 器件设计 关键工艺 

分 类 号：TF843.1[冶金工程—有色金属冶金] F416.63[经济管理—产业经济]