NIST为低k膜制订韧性试验方法  

作　　者：邓志杰（摘译） 

出　　处：《现代材料动态》2010年第1期11-12,共2页Information of Advanced Materials

摘　　要：国家标准和技术研究所（NIST）的研究人员已“修订”了一项熟知的测量材料性质的方法以规范低k膜的机械强度测量方法，以帮助器件制造厂家更好地识别内连电介质膜“候选”材料。作为衬底（例如Si）上部和器件中导电体与元件之间的绝缘膜，低k电介质层的使用在不断增加。

关 键 词：电介质膜 试验方法 NIST 韧性 测量方法 材料性质 机械强度 研究人员 

分 类 号：TB9[一般工业技术—计量学] TQ171.738[机械工程—测试计量技术及仪器]