利用原子力显微镜在Au-Pd合金膜上制备纳米结构  

作　　者：陈海峰[1] 宋家庆[1] 李春增[1] 蔡生民[1] 刘忠范[1] 

机构地区：[1]北京大学化学与分子工程学院智能材料研究中心,北京100871

出　　处：《科学通报》1998年第18期1950-1953,共4页Chinese Science Bulletin

基　　金：国家"攀登"计划B!(批准号 :94 0 2 110 0 2 )

摘　　要：利用自行开发的SPM刻蚀系统在Au Pd合金膜上成功地机械刻划出纳米尺度的孔洞、沟槽和复杂的图形 ,最小线宽达 2 5nm .该系统可以很方便地用来加工所需要的任意纳米图形 ,并且AFM图象表明机械刻划出来的纳米结构非常清晰 ,真实地反映出待刻图形的细节而没有变形 ,这说明该刻蚀系统具较高的可靠性和可控性 .同时 ,实验结果表明我们制得的Au Pd合金膜非常平整并具备优良的机械刻划性能 ,它可以被用作为制备纳米器件的掩膜或直接用于纳米结构的制备 .

关 键 词：原子力显微镜 纳米加工 机械刻蚀 金-钯合金膜 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]