一种新型温湿敏集成传感器研制  

Development of a New Temperature and Humidity Sensitive Integrated Sensor

作　　者：吴孙桃[1] 周海文[1] 杨松鹤 吴荣华[1] 陈议明[1] 

机构地区：[1]厦门大学物理学系,361005

出　　处：《固体电子学研究与进展》1998年第4期349-353,共5页Research & Progress of SSE

基　　金：福建省科技资助

摘　　要：研制成由硅温敏二极管和聚酸亚胺湿敏电容集成的温湿度传感器。介绍了它的工作原理、结构设计、制作工艺、测试结果以及为提高它的性能所作的一些研究。An integrated temperature and humidity sensor consisting of the silicon diode and the polyimide-based capacitive humidity sensor has been deve-loped.The sensor working principle, structure design, manufacturing technology, measurement results and some studies of improving the sensor characteristics have been introduced.

关 键 词：温敏 湿敏 集成传感器 敏感器件 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN379[自动化与计算机技术—控制科学与工程]