高成品率台阶结DC-SQUIDs磁强计  

HIGH REPRODUCIBLE STEP EDGE JUNCTION DC SQUIDs MAGNETOMETER

作　　者：王晶[1] 韩冰[1] 何萌[1] 徐凤枝[1] 张利华[1] 周岳亮[1] 陈赓华[1] 杨乾声[1] 

机构地区：[1]中科院物理研究所

出　　处：《低温物理学报》1998年第6期401-405,共5页Low Temperature Physical Letters

摘　　要：我们在ＳＴＯ台阶基片上，采用脉冲激光沉积（ＰＬＤ）和直流磁控溅射法制备出ＹＢＣＯ外延超导薄膜，采用普通的光刻技术得到ＤＣＳＱＵＩＤ图形．器件的ＩＶ曲线具有ＲＳＪ模型描述的上翘特征；三角波调制幅度峰峰值大于４μＶ，磁场灵敏度优于１ｐＴ／Ｈｚ（白噪声区）；９个不同基片上的样品磁通锁定的成品率达到６７％．

关 键 词：磁强计 高温超导 量子干扰器件 STO台阶 

分 类 号：TM936.1[电气工程—电力电子与电力传动]