大平面平面度测量系统  

作　　者：刘兴占[1] 梁晋文[1] 陈博一[1] 花国粱 何树荣[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器系

出　　处：《计量技术》1998年第12期4-7,共4页Measurement Technique

摘　　要：本文提出一种新的高精度大型平面扫描仪。利用双光束补偿系统，扫描头由一特殊光路组成。当入射光发生角漂或扫描头发生摆动等，输出的两束光发生对称上下漂移，其中心线扫描形成的基准平面保持不变。测量不确定度小于２．５×１０－６。

关 键 词：双光束补偿 大平面 扫描仪 平面度 测量系统 

分 类 号：TH741.3[机械工程—光学工程]