丙酮离子传感器的制备  

作　　者：李捷[1] 童敏明[1] 刘涛[1] 

机构地区：[1]中国矿业大学信息与电气工程学院,江苏徐州221008

出　　处：《科技创新导报》2010年第3期115-116,共2页Science and Technology Innovation Herald

基　　金：国家自然科学基金(No.60674110)

摘　　要：本文提出了一种丙酮离子传感器的制备方法。采用纳米结构的SiO2和Ta2O5制作出敏感膜,涂覆在MOSFET的金属栅极上从而得到氢离子敏场效应传感器,将丙酮溶液采用催化剂热解离法解离出氢离子之后,再用离子敏场效应传感器检测氢离子,从而间接的实现了丙酮的检测。

关 键 词：丙酮 催化剂 热解离 氢离子敏场效应传感器 纳米 SIO2 TA2O5 

分 类 号：TB318[一般工业技术—材料科学与工程]