基于误差递减修正法的非球面超精密加工  

Ultra-precision turning of aspheric mirrors using error-decreasing amendment method

作　　者：程颖[1] 房丰洲[1] 张效栋[1] 

机构地区：[1]天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津市微纳制造技术工程中心,天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津300072

出　　处：《光学技术》2010年第1期51-55,共5页Optical Technique

基　　金：国家高技术研究发展计划(863)(2009AA044305);国家博士后科学基金(20080440683)

摘　　要：误差滤波和分离技术是超精密加工中的关键技术之一。采用误差递减法修正加工路径,利用修正的高斯权函数对测量表面进行滤波处理,设计并完成了整个误差递减系统,实现非球面的超精密车削加工,并在很大程度上提高其表面精度(P-V值)。通过实验验证,利用该加工方法,提高了加工效率,可明显地提高非球面的表面精度,最终达到面形精度小于200nm。Error filtering and separating methods are the key technology in ultra-precision machining.Using error-decreasing method to amend the processing path,improving the Gaussian weight function to get better filtering effect,and designing a complete system to realize the machining process,all of which increase the form accuracy of aspheric mirror to a large extent.A large number of various non-spherical surfaces machined prove that the value of PV can be improved to be less than 200 nm.

关 键 词：非球面 超精密加工 车削 误差递减修正 

分 类 号：TH741.4[机械工程—光学工程]