可对多目标测量的硅传感器系统  

The Silicon Pressure Sensor System Measured Multi-Object

作　　者：屈哓声[1] 张声良[1] 吴洪才[1] 

机构地区：[1]西安交通大学电子信息学院860教研室,西安710049

出　　处：《传感技术学报》1998年第4期61-65,共5页Chinese Journal of Sensors and Actuators

摘　　要：本文介绍了一种新型的可对多个目标进行测量的硅压力传感器系统的研制.它是把多个硅压力传感器组合成一个完整的传感器系统,用于对多个不同的对象同时完成独立测量.文章具体描述了对压力、流量、干度实测测量的原理、过程以及传感器系统的结构制作.Abstract The paper full describes a new-type multi-object system of silicon pressure sen-sors that consists of some pressure sensors. The system of sensors can measure many ob-jects, for example, pressure, flow and vapor quality in two-phase flow of gas and liquid,at the same time. The principle of test and the structure of sensor system are analyzed inthis paper.

关 键 词：传感器系统 两相流 压阻效应 多目标测量 

分 类 号：TP212.061[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]