直径 2mm 电磁型微马达的研制及其气隙磁场的分析  

Study on φ2mm Micro Electromagnetic Motor and Analysis of Magnetic Field

作　　者：余晋岳[1] 张琛[1] 杨春生[1] 俞爱斌[1] 朱军[1] 钱建国[1] 雷蔚[1] 任敏华 冯建智[1] 魏福林[2] 

机构地区：[1]上海交通大学信息存储研究中心 [2]兰州大学应用磁学国家教委部门开放研究实验室

出　　处：《磁性材料及器件》1998年第6期1-4,17,共5页Journal of Magnetic Materials and Devices

摘　　要：微机电系统（ＭＥＭＳ）是正在国际上发展的新兴学科，微马达是微机电系统中的关键器件。本文介绍了研制成的直径为２ｍｍ、高０．７ｍｍ的电磁型微马达的结构特点，并对气隙磁场分布作了分析讨论。Micro electronic mechanical system (MEMS) is a new developed research field in the world, micromotor is a crux device in MEMS. In this paper, a novel structure of micro eletromagnetic motor with 2mm in diameter and 0.7 mm in height developed in Shanghai Jiaotong University was introduced, and distribution of magnetic field in air gap was analyzed and discussed.

关 键 词：电磁型 微马达 永磁转子 微电机 气隙磁场 

分 类 号：TM380.33[电气工程—电机]