用阵列测量技术对微米、亚微米单分散微球粒径定值  

Measurement of Micro- and Submicrometer Diameter SiO2 Monodisperse Spheres by Array Sizing

作　　者：董鹏[1] 陈胜利[1] 袁桂梅[1] 周倩[1] 

机构地区：[1]中国石油大学(北京)化学科学与工程学院,重质油国家重点实验室,北京102249

出　　处：《计量学报》2010年第2期106-110,共5页Acta Metrologica Sinica

基　　金：国家自然科学基金（50702077）;国家重点基础研究发展规划（973）项目（2006CB932601）致谢：本研究工作得到了中国计量科学研究院、全国标准物质管理委员会、国家纳米中心、中科院理化技术研究所、北京市理化测试中心、清华大学等部门的协助和支持,在此表示衷心感谢!

摘　　要：分析了微球阵列测量法的特征和应用情况，并采用该法对5种微米、亚微米单分散二氧化硅微球粒度标准物质进行了测量。其平均粒径可溯源到中国计量科学研究院标准长度。经与溯源至美国国家标准技术研究院标准长度的测量结果相对照，两个测量结果一致。证明微球阵列测量法可以应用到亚微米级单分散微球粒度标准物质的定值。The characteristics and applications of array sizing technique in the certification of micrometer diameter polystyrene spheres reference materials were described. Five micro- or submicrometer diameter SiO2 sphere samples were measured by Optical Microscopy Array Sizing or AFM Array Sizing respectively. The measurement results are traceable to the measurement length standard of NIM （National Institute of Metrology, P. R. China） and consistent with that by TEM calibrated with three polystyrene sphere SRMs from NIST （National Institute for Standards and Technology, United State）. It was shown that the AFM Array Sizing is feasible for the certification of submicro - meter diameter spheres reference materials.

关 键 词：计量学 粒度标准物质 阵列测量法 原子力显微镜 光学显微镜 单分散SiO2微球 亚微米球 

分 类 号：TB921[一般工业技术—计量学]