集成门极换流晶闸管的工艺模拟  

作　　者：吴琳[1] 宋恺[1] 

机构地区：[1]辽宁广播电视大学,辽宁沈阳110034

出　　处：《大众科技》2010年第4期13-13,16,共2页Popular Science & Technology

摘　　要：主要介绍利用silvaco软件对集成门集换流晶闸管IGCT(Inregrated Gate Commutated Thyrister)进行工艺模拟。利用silvaco软件中的Athena对IGCT进行建模,并对工艺参数进行提取和优化,从而达到工艺要求。

关 键 词：silvaco 集成门集换流晶闸管 工艺模拟 

分 类 号：TP39[自动化与计算机技术—计算机应用技术]