单晶硅炉用碳石墨材料的研制与应用  

作　　者：鄢鹏 

机构地区：[1]东新电碳厂

出　　处：《电碳》1998年第2期12-15,共4页

摘　　要：ＣＺ法拉制半导体单晶硅，炉室中使用多种碳石墨材料。本文简要介绍单晶炉炉室结构、工作原理，重点阐述适用碳石墨材料的要求和研制应用情况。

关 键 词：单晶硅炉 碳 石墨 材料 半导体 拉制 单晶硅 

分 类 号：TF806.9[冶金工程—有色金属冶金] TN304.053[电子电信—物理电子学]