超精密机床工作台运行误差的测量与补偿  

MEASUREMENT AND COMPENSATION OF THE MOVEMENT ERROR OF WORKING TABLE IN ULTRAPRECISION MACHINE TOOLS

作　　者：朱喜林 高鹏[2] 袁哲俊[3] 王晓慧[3] 

机构地区：[1]吉林工业大学,吉林长春130025 [2]北京航空航天大学 [3]哈尔滨工业大学

出　　处：《兵工学报》1999年第1期94-96,共3页Acta Armamentarii

摘　　要：首先介绍了位置敏感检测器件PSD(PositionSensitiveDetector)的工作原理和标定方法 ,再用PSD对超精密机床工作台运行误差进行在线测量 。Introduces the work principle and method of calibration of position sensitive detectors (PSD). The movement error of the working table is then measured on line. The method of real time error compensation of the ultraprecision machine tool is finally dealt with.

关 键 词：超精密加工 超精密机床 工作台 PSD 机床 误差 

分 类 号：TG669[金属学及工艺—金属切削加工及机床]