双光束补偿准直系统  

作　　者：刘兴占[1] 梁晋文[1] 陈博一[1] 花国梁[1] 何树荣[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器系

出　　处：《计量技术》1999年第1期12-15,共4页Measurement Technique

摘　　要：本文提出一种新的双光束补偿准直系统。该补偿系统利用特殊的光路，当激光经过此光路后，产生两束对称输出光，当入射光发生角漂时，输出的两束光对称的上下漂移，其对称中心线保持不变，从而起到补偿作用，大大提高了准直准确度，其准直误差可≤２×１０－６量级。

关 键 词：准直系统 双光束补偿 激光 补偿方法 

分 类 号：TG83[金属学及工艺—公差测量技术]