集成电路洁净厂房的废气处理  

The Treatment of Exhaust from IC Cleanroom

作　　者：戴兵[1] 

机构地区：[1]中国电子工程设计院-世源科技工程有限公司

出　　处：《洁净与空调技术》2010年第2期81-84,共4页Contamination Control & Air-Conditioning Technology

摘　　要：结合工程实例,对集成电路项目中,有毒有害废气处理方式作了介绍与分析。The treatment methods of toxic and hazardous exhaust in IC project were introduced and analysized, based on actual practices.

关 键 词：集成电路厂房 洁净室 废气处理 

分 类 号：X701[环境科学与工程—环境工程]