提高光通量的软X射线非周期多层膜的数值模拟  

NUMERICAL SIMULATION OF DISORDER SOFT X RAY MULTILAYER FOR A MAXIMUM INTEGRATED REFLECTIVITY

作　　者：柯常军[1,2] 王占山[1,2] 张铁强[1,2] 曹健林 陈星旦 

机构地区：[1]吉林工业大学应用物理系 [2]中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室

出　　处：《强激光与粒子束》1999年第1期23-26,共4页High Power Laser and Particle Beams

基　　金：国家自然科学基金;国家863激光青年科学基金

摘　　要：在周期多层膜基础上，采用随机数方法找到适当的非周期膜系，极大地提高了反射光通量，并给出了整体设计步骤。模拟计算结果表明非周期多层膜能扩展带宽和提高反射率积分值。在１２．４～２０．１ｎｍ波段内，最佳非周期多层膜与峰值在中心波长λ＝１６．２５ｎｍ处的周期多层膜相比，理论积分反射率提高了７５％。A random method used for improving light throughput of a soft X ray multilayer mirror has been developed. It is demonstrated that layer thickness disorder yields band broadening and increased integrated reflectivity,and achieved 75% increase in integrated reflctivity in the 12.4～20.1nm spectral range with respect to periodic multilayer with its first Bragg peak in the center of that range.

关 键 词：非周期 多层膜 软X射线 随机数 积分反射率 

分 类 号：O484.8[理学—固体物理] O484.41[理学—物理]