现代椭偏光谱学的回顾与展望  

An Overview and Prospect on Modern Spectroscopic Ellipsometry

作　　者：陈篮[1] 莫党[2] 

机构地区：[1]中国人民解放军广州通信学院基础教研室 [2]中山大学物理系

出　　处：《光谱实验室》1999年第1期19-23,共5页Chinese Journal of Spectroscopy Laboratory

摘　　要：本文回顾了独具特色的椭偏光谱学近一个世纪的历史发展，综述了椭偏光谱学的应用现状，指出了其前沿研究领域，并对这一古老而又年轻的光谱学分支作了展望。About one century history of novel spectroscopic ellipsometry(SE) is reviewed.Its classification,applications and new developments are introduced and described in detail.

关 键 词：材料 光学特性 椭圆偏振光谱 

分 类 号：O657.3[理学—分析化学]