超声喷雾热分解法制备p型ZnO多晶薄膜及其光致发光性能研究  

Growth and Photoluminescence of p-type ZnO by Ultrasonic Spray Pyrolysis

作　　者：郑春蕊[1] 

机构地区：[1]石家庄经济学院材料科学与工程研究所,石家庄050031

出　　处：《材料导报（纳米与新材料专辑）》2010年第1期53-55,70,共4页

基　　金：河北省科技厅科学技术研究与发展指导计划项目(07215157);河北省教育厅科学研究计划项目(Z2007425);石家庄经济学院校内项目(XN200706)

摘　　要：采用超声喷雾热分解法,室温下在玻璃衬底上沉积了N-Al共掺杂的p型ZnO薄膜。采用XRD和SEM测试手段对薄膜进行了晶体结构和表面形貌的表征,结果表明所制备的薄膜为六角纤锌矿结构的ZnO薄膜,表面均匀,结构致密,具有强烈的呈c轴垂直于衬底的(002)择优取向。对薄膜进行了电学测试和光致发光性能测试,并对薄膜的光致发光性能进行了研究。p-Type ZnO thin films are synthesized by ultrasonic spray pyrolysis. XRD and SEM are employed to study the crystalline structure and the surface morphology of ZnO thin films. The results indicate that the ZnO thin films have hexagonal wurtzite single phase structure and a preferred orientation with the c axis perpendicular to the substrates. Photolmuinescence porperties and electrical properties of p-ZnO thin films are characterized. Photolmuinescence of p-ZnO thin films are also studied.

关 键 词：ZNO p型传导 喷雾热分解 N-Al共掺 光致发光 

分 类 号：O484[理学—固体物理]