微微秒超声波  

作　　者：佘炎 

出　　处：《国外科技动态》1999年第1期25-26,32,共3页Recent Developments in Science & Technology Abroad

关 键 词：超声波 计算机 芯片 薄膜片 厚度测量 

分 类 号：TH878.2[机械工程—仪器科学与技术] O426[机械工程—精密仪器及机械]