光学发射光谱法测量氩气微空心阴极放电中特性参数  

Optical Emission Spectroscopy for the Characteristic Parameters Measurement of Argon Microhollow Cathode Discharge

作　　者：夏广庆[1] Nader Sadeghi 

机构地区：[1]大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室,运载工程与力学学部,航空航天学院,辽宁大连116024 [2]光谱物理实验室,约瑟夫·傅里叶大学&法国国家科学研究中心

出　　处：《光谱学与光谱分析》2010年第7期1952-1955,共4页Spectroscopy and Spectral Analysis

基　　金：大连理工大学引进人才启动基金项目(3014-893309);国家留学基金委资助项目([2006]3074)

摘　　要：针对微空心阴极放电(MHCD)装置,通过在氩气中添加少量氮气,分析氮分子第一正带系N2(B3ΠgA3u+)发射光谱的方法测量了MHCD中的气体温度,通过氩气中混有的少量氢气,分析Hβ谱线Stark加宽得到电子数密度。研究表明,MHCD在极小的体积和很高的功率密度下维持放电,致使发生了明显的气体加热现象,气体温度可高于700 K,并且随着放电室压强和放电电流呈有规律的变化,具有较好的可控性,电子数密度的量级为1014～1015cm-3。通过对不同条件下等离子体特性参数的诊断和分析,得到了其量级和变化规律,对MHCD的广泛研究和应用提供了重要的实验数据和技术支持。In order to measure the basic plasma parameters, well understand the mechanism of microhollow cathode discharge （MHCD）, the rotational structures of the Nz first positive bands （ B3II, A^3＋u ） were analyzed with traces of nitrogen added in argon for the measurement of the gas temperature, and the Stark broadening of Hβ lines was analyzed for the determination of the electron density. The experimenual results show that the gas temperature increases with the increasing pressure and the current and can reach 700 K in the stable glow region. The electron density is in the order of 10^14-10^15 cm^-3. The magnitude and the changing relations can provide substantial experimental data and technical support for the wide application of MHCD.

关 键 词：微空心阴极放电 转动温度 气体温度 电子数密度 光学发射光谱 

分 类 号：O461.2[理学—电子物理学]