电场辅助离子扩散过程中玻璃基片的电导变化  

Electric conductance variation of glass substrate in the process of field-assisted ion-diffusion

作　　者：郝寅雷[1] 谷金辉[1] 郑伟伟[1] 江舒杭[1] 杨建义[1] 李锡华[1] 周强[1] 江晓清[1] 王明华[1] 

机构地区：[1]浙江大学信息与电子工程学系,浙江杭州310027

出　　处：《光电子．激光》2010年第6期875-879,共5页Journal of Optoelectronics·Laser

基　　金：国家"973"计划(2007CB613405);国家自然科学基金资助项目(60777015);浙江省科技计划资助项目(2007C21022);浙江大学优秀青年教师资助计划资助项目

摘　　要：实验研究了玻璃基片在电场辅助离子扩散过程中的电导变化规律。结果发现,由于直流电场在玻璃基片中产生的焦耳热效应,离子扩散过程中玻璃基片的温度会明显升高,玻璃基片的电导也按照相应的规律变化;在通常的离子扩散制备掩埋式光波导的过程中,玻璃基片电导值可以增加到初始值的数倍;这种玻璃基片温度及伴随的电导变化,会给玻璃基离子交换光波导制备工艺带来不可忽略的影响。Electric conductance variation of glass substrate in the process of field-assisted ion-diffusion is experimentally investigated.Experimental results show that glass substrate temperature and corresponding electric conductance experience an increasing process before reaching a constant value.In conventional ion-diffusion process for glass-based waveguide manufacturing,electric conductance increases by several times over its original value.This temperature rise and corresponding electric conductance increment could impose non-negligible influence on glass-based ion-exchange waveguide manufacturing.

关 键 词：离子扩散 玻璃 电导 

分 类 号：TN252[电子电信—物理电子学]