一种电容式湿敏元件的研制  

Development of a Capacitive-Type Humidity Sensor

作　　者：刘未庆 袁艳君 周海华 张秋生 

机构地区：[1]河南省鹤壁市敏感元器件总厂,鹤壁市458000

出　　处：《电子仪器仪表用户》1999年第1期10-11,共2页

摘　　要：本文介绍了电容式湿敏元件的主要特点、制造工艺、性能指标，并对其感湿机理进行了初步探讨。This paper introduces the property, manufacturingprocess, specifications of a capacitive-type humiditysensor,and reserches its humidity sensing mechanism.

关 键 词：电容式 湿敏元件 湿度 湿度测量 

分 类 号：TH765.51[机械工程—仪器科学与技术] TP212[机械工程—精密仪器及机械]