微机械元件和仪器新进展  

New Progress of MEMS Component and Instrument

作　　者：邵培革[1] 王立鼎[2] 任延同[2] 

机构地区：[1]大连理工大学机械系 [2]中国科学院长春光学精密机械研究所

出　　处：《光学精密工程》1999年第1期10-15,共6页Optics and Precision Engineering

基　　金：国家863计划;辽宁省博士启动基金;博士后基金

摘　　要：微机械元件和微机械仪器，适于大批量生产，具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点，近十年来，研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展，展现了美好的前景。MEMS component and instrument are suitable for batch manufacture and have the advantage of low price, high reliability, smaller volume and large scale integration. In this decade a great progress has been made in the research, development and marketing of this field, which suggests a bright future.

关 键 词：微机械 微机械元件 微机械仪器 

分 类 号：TH－39[机械工程]