采用锁相技术的微小电容检测电路  

Measurement Circuit of Small Capacitance by Lock-in Technology

作　　者：王亚强[1] 丁纯[1] 王跃林 

机构地区：[1]浙江大学信电系 [2]传感技术国家重点实验室

出　　处：《仪表技术与传感器》1999年第2期26-27,30,共3页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：】描述了一种应用于电容式传感器的微小电容检测电路，此电路采用锁相技术的原理，成本较低，具有较好的线性度和较高的灵敏度。In this paper a new circuit to measure small capacitance is proposed. The method is based on the principle of lock-in detection and provides good linearity and high sensitivity. With its low cost, this circuit can be applied to micromechanical capacitance sensors and actuators.

关 键 词：微小电容检测 微机械传感器 锁相技术 电路 

分 类 号：TM934.23[电气工程—电力电子与电力传动]