金属型场发射阵列的研究  

STUDY ON METAL FIELD EMISSION ARRAY

作　　者：李德杰[1] 王邦江[1] 姚保纶 

机构地区：[1]清华大学电子工程系

出　　处：《微细加工技术》1999年第1期68-73,共6页Microfabrication Technology

摘　　要：讨论了Ｓｐｉｎｄｔ方法制作金属型ＦＥＡ工艺过程中的技术难点和相应的解决方案，最后成功地研制出场发射阵列，并实现了场发射。The difficulties and their solutions in fabrication of metal FEA by Spindt method are analyzed.The field emission arrays are finally made out and the field emission is achieved.

关 键 词：场致发射 平板显示 FED FEA 

分 类 号：TN141[电子电信—物理电子学]