隔离扩散“染色”现象的研究  

作　　者：潘廷龙 倪国志 

机构地区：[1]中国兵器工业第214研究所,蚌埠233042

出　　处：《集成电路通讯》2010年第2期15-17,共3页

摘　　要：在双极型集成电路的隔离扩散时，发现隔离槽内产生一种“咖啡色的染色”现象，针对这一现象开展了实验研究，对产生“染色”的机理进行了探讨并提出解决“染色”的工艺方法。

关 键 词：双极型集成电路 隔离扩散 染色 氮化硼 氢氟酸(HF) 

分 类 号：TN406[电子电信—微电子学与固体电子学]