利用一维光栅标样校准扫描电子显微镜方法的研究  

Study on SEM Calibration with 1D-grating Samples

作　　者：钱进[1] 石春英[1] 谭慧萍[1] 刘忠有[1] 陈方毓[2] 陈晓霞[3] 黄晓蓉[4] 

机构地区：[1]中国计量科学研究院,北京100013 [2]武汉钢铁公司技术中心,湖北武汉430080 [3]武汉科技大学材料与冶金学院,湖北武汉430008 [4]中国测试技术研究院,四川成都610021

出　　处：《计量学报》2010年第4期299-302,共4页Acta Metrologica Sinica

摘　　要：提出了扫描电子显微镜量值溯源的测量方法，对3种类型的10台电镜进行了比对实验。实验数据溯源于国家长度基准。比对实验选取显微镜的放大倍数分别为2000×、5000×、10000×、20000×和50000×所对应的标尺作为测量对象。实验结果表明，有8台扫描电镜的标尺的准确度在5％的范围内与标准值符合，其余2台在6．5％的范围内与标准值符合。The method for scanning electron microscope traceability is described. 10 Scanning Electron Microscopes （SEM） of three different electron gun types were measured. The experimental data was traced to the national length primary standard. The marker at 2000 ×, 5000 × , 10000 ×, 20000 × and 50000 × magnifications was measured. The derivations of 8 SEM magnifications are less than 5% , and the others are less than 6.5%.

关 键 词：计量学 扫描电子显微镜 纳米光栅 线距标准装置 一维光栅 长度基准 

分 类 号：TB92[一般工业技术—计量学]