高性能ITO陶瓷靶材生产技术发展趋势  

作　　者：惠耀辉[1] 聂保民[1] 

机构地区：[1]咸阳陶瓷研究设计院,陕西咸阳712000

出　　处：《陶瓷》2010年第7期11-13,24,共4页Ceramics

摘　　要：ITO靶材是平面显示器产业中必须用到的重要材料。随着平面显示器技术的发展,对ITO靶材性能的要求越来越高,这就需要有与之相适应的先进制造技术。笔者在分析国内外生产技术的基础上,探讨了国内高性能ITO靶材生产技术的发展趋势。

关 键 词：平面显示器 ITO靶材 注浆成形 常压烧结 

分 类 号：TN304.21[电子电信—物理电子学]