红外光刻机光学系统设计  

作　　者：陈仁康 

出　　处：《上海光机》1990年第3期1-4,共4页

关 键 词：红外光刻机 光学系统 设计 微电子 

分 类 号：TN405.7[电子电信—微电子学与固体电子学]