硅传感器与微结构（3）：第四讲 硅压力传感元件的基本特性  

作　　者：杨亮生 黄保卫 

出　　处：《上海光机》1990年第3期5-10,22,共7页

关 键 词：硅传感器 微结构 压力传感元件 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]