组合薄膜制备技术在热电材料中的应用  

Combinatorial Technologies in the Fabrication of Thermoelectric Films

作　　者：王群骄[1] 张毅斌[2] 

机构地区：[1]东北大学EPM重点实验室,辽宁沈阳110004 [2]中国人民解放军海军驻鞍山钢铁集团公司军事代表室,辽宁鞍山114000

出　　处：《材料开发与应用》2010年第4期53-56,共4页Development and Application of Materials

基　　金：国家自然科学基金(No.50674033);博士后基金(No.2005037230)

摘　　要："组合技术"是现代的新材料开发的手段。介绍了一些新的组合技术,如:"组合激光分子束外延技术"和"组合激光溅射制膜技术",并采用"组合激光溅射制膜技术",成功制备了高质量La1-xCexVO3(0≤x≤1)成分梯度薄膜。采用组合热电测量系统和组合XRD系统测量了La1-xCexVO3(0≤x≤1)成分梯度薄膜的热电性能和晶体结构。"组合激光溅射制膜技术"被证明是非常高效、精确的新材料薄膜研究方法,具有光明的前景。Combinatorial technology is a powerful tool for new material exploration.Some new combinatorial technologies,such as combinatorial laser molecular beam epitaxy（CLMBE） and combinatorial pulsed laser deposition（CPLD）,are introduced in this paper.La1-xCexVO3（0≤x≤1） composition-spread films were fabricated successfully by CPLD,while their thermoelectric properties and structures were evaluated by multi-channel thermoelectric measurement system and concurrent X-ray analysis respectively.Combinatorial technologies are proving to be an efficient,low-cost tool in synthesis and characterization of thermoelectric composition-spread films.

关 键 词：组合技术 组合激光溅射制膜技术 成分梯度薄膜 热电 

分 类 号：TG174.444[金属学及工艺—金属表面处理]